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在光学显微镜中，利用电子来代替可见光，在图像质量和信息价值，可靠性和利用率方面有很大的优势。，利用电子束放大的倍率可以达到20,000x，而利用可见光的放大倍率只有1000x。散射电子的特征是：利用被检查物体表面的电子核相互作用的弹性，散射电子角度范围可以达到180度，但是平均散射角度为5度。通过这种方式，一小部分散射的原子的原子序数Z发生了强烈的改变，通过这种方式可以对原材料做鉴定比较。这就是所谓的原子序数特征对比。这就是为什么电子束焊接机中需要安装检测板来收集散射电子的原因。软件和CNC系统可以利用这些准确的信息来控制焊接参数。
收集的信息以数字形式显示了电子束流与高能电子的弹性散射的采样样本，次电子非弹性散射的采样样本以及电磁辐射的采样样本之间的能量转换的关系。每种能量来源都可以用的传感器检测到并对其进行测量。吸收的束射电流也可以被检测和测量。各种电子放大器采用数字化的CRT显示器信号，可以创建重要的的信号强度分布图。操作人员利用高分辨率的CRT作为其监测设备，与此同时，数字信号传输给CNC系统用于回路控制的监测和反馈。现今，无线传感器放置于真空工作室中来实现自动光束对准。该专利在焊缝准确度方面实现了800%好的手动操作。因此，该技术具有可靠性更高，在热能输入控制方面优势明显，在热能输入与热能影响区域低变形的特点。
在焊接过程中，利用高速电子束束流偏离来打出立的多孔，其间电子束偏离以及多溶池焊接过程中的电子束混合尤为重要。控制软件和控制束流方向的偏离板对焊缝的复杂的曲线热分布的控制起到了关键的作用。只有非常熟练的控制才能完成包括飞机设计的复杂任务。因此，人员用电子束焊接机来设计完成特殊的任务。
电子束焊接，简称EBW焊接，是利用加速和聚焦的电子束轰击置于真空或非真空中的焊件所产生的热能进行焊接的方法。电子束焊接因具有不用焊条、不易氧化、工艺重复性好及热变形量小的优点而广泛应用于航空航天、原子能、及、汽车和电气电工仪表等众多行业。
电子束过程产生深、平行且狭窄的焊缝。角变形和横向收缩以及其他干扰的影响是小的。它的应用范围非常广泛，包括从焊接小的部件到接合单次操作壁厚超过150mm的工件。这些优点还有利于机械部件的设计、航空航天工业中单个部件的加工、建造船只和新能源车以及汽车大批系列的生产。
后在终选择生产技术时，成本是主要因素之一。虽然激光束焊接的投资成本随着焊接的深度而线性增加，它们与电子束焊接的功率却无关。在根据所需深度的不同，电子束直接比较可能更为昂贵，但在更高功率水平上却相当的便宜。
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